離子氮化軟氮化學名“氮碳共滲"。實質是以滲氮為主的低溫氮碳共滲，鋼的氮原子滲入的同時，還有少量的碳原子滲入，其處理結果與一般氣體氮化相比，滲層硬度較氮化低，脆性較小，故稱為軟氮化。

離子氮化作為一種工件表面熱處理工藝手法，能提高工件的耐磨、耐疲勞、耐蝕及耐高溫的特性，在生產中得到廣泛應用，但是由于工藝不正確或操作不當，往往造成出現滲氮硬度低、硬度不均勻，表面有氧化色等缺陷，影響了工件的使用周期，因此分析原因、探討方法、調整工藝，顯得十分重要。

離子氮化滲氮層硬度偏低會降低工件的耐磨性能，減少工件的使用周期，分析原因我們會發現：

1）滲氮模具表層含氮量低，這是由于滲氮時爐溫偏高或者在滲氮一階段的氨分解率過高，即爐內氮氣氛過低。

2）模具預先熱處理后基體硬度太低。

3）滲氮爐密封不良、漏氣或新的滲氮罐。

預防措施：1）適當降低滲氮溫度。對控溫儀表要經常校正，保持適當的滲氮溫度。

2）工件裝爐后應緩慢加熱，在滲氮一階段應適當降低氨分解率，運用滲氮氣氛全因素監測系統，準確還原原始氣氛中的氨裂解率、氫含量和氮勢。

3）離子氮化滲氮爐要密封，對漏氣的馬弗罐應及時更換，新滲氮罐要進行預滲氮，通過系統全程監測，使爐內氨分解率達到平穩。